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圖書簡介

光學(xué)薄膜是一門綜合性非常強(qiáng)的工程技術(shù)科學(xué)。它的理論基礎(chǔ)是電磁場理論和麥克斯韋方程，涉及光在傳播過程中，通過分層介質(zhì)的反射、透射和偏振特性等。本書第一篇主要介紹光學(xué)薄膜特征的理論計(jì)算、光學(xué)多層膜的設(shè)計(jì)理論和技術(shù)，由唐晉發(fā)教授編寫。第二篇主人介紹光一膜的制造技術(shù)，包括以物理氣相淀積技術(shù)為代表的成膜技術(shù)，涵蓋真空設(shè)備、薄膜材料、制備參數(shù)控制技術(shù)、薄膜厚度監(jiān)控技術(shù)、膜厚均勻性以及制備參數(shù)對薄膜微觀結(jié)構(gòu)影響等。第三篇主要介紹薄膜光學(xué)特性與光學(xué)常數(shù)的檢測技術(shù)、薄膜機(jī)械性能的評價(jià)技術(shù)等。由于光學(xué)薄膜技術(shù)又是一門交叉性很強(qiáng)的學(xué)科，涉及到光電技術(shù)、計(jì)算機(jī)、真空技術(shù)、材料科學(xué)、自動(dòng)控制技術(shù)等領(lǐng)域，為了滿足部分來自不同領(lǐng)域的光學(xué)薄膜工作者學(xué)習(xí)本書的需要，增加了一個(gè)附錄，主要介紹幾個(gè)數(shù)學(xué)物理基礎(chǔ)理論。
目錄
第一篇　光學(xué)多層膜設(shè)計(jì)
　第1章　光學(xué)薄膜特性的理論計(jì)算
　　1.1　單色平面電磁波
　　1.2　平面電磁波在單一界布的反射和折射
　　1.3　光學(xué)薄膜特性的理論計(jì)算
　　1.4　光學(xué)多層膜內(nèi)的電場強(qiáng)度分布
　 習(xí)題
　第2章　光學(xué)薄膜的設(shè)計(jì)理論
　　2.1　矢量作圖法
　　2.2　有效界面法
　　2.3　對稱膜系的等效層
　　2.4　導(dǎo)納圖解技術(shù)
　 習(xí)題
　第3章　光學(xué)薄膜系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
　　3.1　減反射膜
　　3.2　分束鏡
　　3.3　高反射膜
　　3.4　干涉截止濾光片
　　3.5　帶通濾光片
　　3.6　特殊膜系
　 習(xí)題
　參考文獻(xiàn)
第二篇　薄膜制備技術(shù)和微結(jié)構(gòu)特性
　第4章　薄膜制備技術(shù)
　　4.1　真空淀積工藝
　　4.2　光學(xué)薄膜材料
　　4.3　薄膜厚度監(jiān)控藝術(shù)
　　4.4　膜層厚度的均勻性
　 習(xí)題
　參考文獻(xiàn)
　第5章　制備條件寺薄膜微觀結(jié)構(gòu)和成分的影響
　　5.1　薄膜的形成過程
　　5.2　薄膜的微觀結(jié)構(gòu)
　　5.3　薄膜的成分
　　5.4　微觀結(jié)構(gòu)和成分對薄膜特性的影響　
　　5.5　薄膜微觀結(jié)構(gòu)和改善
　 習(xí)題
　 參考文獻(xiàn)
第三篇　光學(xué)薄膜檢測技術(shù)
　第6章　薄膜透射率和反射率測量　
　　6.1　光譜分析測試系統(tǒng)的基本原理
　　6.2　薄膜反射率的測試　
　　6.3　薄膜反射率的測量　
　　6.4　利用激光諧振腔測量激光高反射鏡的反射率與損耗
　　6.5　總結(jié)
　 習(xí)題
　 參考文獻(xiàn)
　第7章　薄膜的吸收和散射測量　
　　7.1　激光量熱計(jì)基本原理
　　7.2　光聲、光熱偏轉(zhuǎn)法測量薄膜吸收
　　7.3　薄膜散射的標(biāo)量理論和總積分散射測量
　　7.4　散射光的矢量理論和角分布測量
　　7.5　諧振腔衰蕩薄膜損耗檢測法
　　7.6　薄膜導(dǎo)波傳播衰減系數(shù)法
　　7.7　總結(jié)
　 習(xí)題
　 參考文獻(xiàn)
　第8章　薄膜光學(xué)常數(shù)的測量　
　　8.1　從透射、反射光譜確定薄膜的光學(xué)常數(shù)
　　8.2　其他薄膜的光學(xué)常數(shù)測試方法
　　8.3　薄膜波導(dǎo)法
　　8.4　光學(xué)薄膜厚度的測試　
　　8.5　總結(jié)
　 習(xí)題
　 參考文獻(xiàn)
　第9章　薄膜非光學(xué)特性的檢測技術(shù)
　　9.1　薄膜的力學(xué)特性檢測技術(shù)
　　9.2　薄膜器件的環(huán)境試驗(yàn)
　　9.3　薄膜的微結(jié)構(gòu)與化學(xué)成分檢測
　　9.4　總結(jié)
　 習(xí)題
　 參考文獻(xiàn)
附錄
　附錄A　復(fù)數(shù)與復(fù)數(shù)運(yùn)算
　　A.1　復(fù)數(shù)的概念
　　A.2　復(fù)數(shù)的三角函數(shù)及指數(shù)表示方法
　　A.3　復(fù)數(shù)在物理中的運(yùn)用
　附錄B　矩陳及矩陳運(yùn)算
　　B.1　矩陳的定義
　　B.2　矩陳運(yùn)算
　附錄C　光的電磁理論基礎(chǔ)
　　C.1　振動(dòng)與波
　　C.2　電磁波
　　C.3　麥克斯韋方程
　　C.4　平面電磁波
　　C.5　平面電磁波性質(zhì)　
　　C.6　電磁波在介質(zhì)表面的反射和折射　
　附錄D　光的干涉
　　D.1　波的疊加原理
　　D.2　楊氏干涉
　　D.3　平板的表面干涉
　　D.4　光的空間相干性和時(shí)間相干性
　附錄E　光的偏振
　　E.1　自然光和偏振光
　　E.2　偏振光與Jones矩陳
　　E.3　偏振光的獲得
　　E.4　偏振光的檢驗(yàn)

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